被投企业名称
上海邦芯半导体科技有限公司
企业官网地址
https://www.bxsemi.com/
企业简介
上海邦芯半导体科技有限公司成立于2020年,致力于成为国内领先的半导体设备平台型企业。主要聚焦化合物半导体领域,已围绕第三代半导体、MEMS、光电芯片等领域研发多款具有自主知识产权的刻蚀设备、薄膜沉积设备、去胶设备。相关产品已在多家国内头部晶圆制造企业实现规模化量产。